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[특허취득]- 웨이퍼 로봇의 결함 진단 시스템

안녕하세요

피앤티 입니다.


그동안 당사 대표님과 연구소 직원들이 개발해온 제품이 드디어 5월 30일자로 특허 완료되어 어제부터 수령했습니다.


발명의 명칭 : 웨이퍼 로봇의 결함 진단 시스템 (Diagnositc System for Motor of Wafer Robot)


발명의 요약 :

웨이퍼를 이동시키는 로봇에 이상 진동이 발생되는 경우, 이상진동을 측정하고, 해당 이상 진동이 기계적 결함에 의하여 발생되는것인지를 모터의 부하에 따라 변동되며 측정되는 전류를 빅테이터로 저장된 비교데이터와 비교하여 웨이퍼 로봇의 이상을 진단할 수 있는 웨이퍼  로봇의 결함 진단 시스템에 관한 것이다.


첨부 : 관련 특허증