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설비고장진단예측시스템(Dantle Plus)
Overview
반도체 제조 photo lithography 공정 설비(ASML, NIKON, CANON) 등의 200mm , 300mm 장비의 레이저, 보드,로봇등의
다양한 부품 수리를 진행
하고 있으며 경쟁적인 가격과 빠른 납기로 고객사로부터 인정받고 있습니다.
High repair quality
Overhaul for new item
High technology
Professional engineer
Reasonable price
ASML
200mm
P-UNIT
PAAC & PCB
BOARD
R-PIN UNIT
DI-POD
UNIT
GRIPPER
COMP UNIT
ASML
300mm
SPM ZERO
SENSOR
IRIS PPD ASSY
(F,G BODY)
LM4C GREEN
LASER
SLD FIR
SLD NIR
LM RED
635NM SLD
LIBRARY
MODULE
MK2,MK4
HIGH ENCODER
RESOLUTION
BOARD Ⅰ
HIGH ENCODER
RESOLUTION
BOARD Ⅱ
HIGH ENCODER
RESOLUTION
BOARD Ⅲ
ASML
200/300mm
RED LASER
(ATHENA)
GREEN LASER
(ATHENA)
HP LASER
SERIES
AOM LASER
SERIES
IRIS PPD ASSY
(F BODY)
Nikon
200mm
DUAL LS
RELAY AMP
HP LASER
SERISE
LSA LASER
SERIES
WGA LASER
SERIES
Nikon
300mm
LS RELAY AMP
SF150/155
LS RELAY AMP
SF308/310
Nikon
200/300mm
LS RELAY AMP
SF140
STG ZT RELAY AMP
SERIES
Canon
200mm
ZYGO LASER
SERIES
Canon
300mm
INDEX
MODULE
MASKING
BLADE UNIT
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